吴德馨：学习王守武先生 献身中国微电子事业的精神
作者：吴德馨，中国科学院院士、半导体器件和集成电路专家
出处：《王守武院士科研活动论著选集》第15-16页，科学出版社1999年11月出版
王守武先生自1950年回国后致力于我国半导体器件和集成电路事业40余年，我国微电子学研究与开发的各个历程无不留下他的足迹，他为我国半导体事业作出了卓越的贡献。
他是我国半导体微电子和光电子科技事业的奠基人之一。他亲手研制成功了我国第一个锗合金管，全功能4k和16k位dram等。他在国内最早积极倡导建立超净实验室，并率先在中国科学院半导体研究所自主建立了一条超净线。他最早提出研究和提高lsi成品率问题，并在半导体所以4k位mos动态随机存储器成品率的提高作出了示范。他十分重视半导体设备的研究，亲自指导设计了光刻机和电子束曝光机，并积极开展了电子束、x射线曝光、干法显影、离子束改性等基础工艺的预先研究。他多次呼吁在引进消化外国技术的基础上加强自主的研究与开发，以形成植根于中国的1c产业。他号召有应用价值的科研成果一定要转化成为产业，并努力将4k和16k dram成果从研究所推广到工厂。他十分注意创新工作，对新的思想和新的工艺他都给予热情的支持。他爱护、关心和积极培养中、青年科技队伍的成长，大胆放手让中、青年人挑重担，并给予诚挚的指导和帮助。他那学识渊博、坚韧不拔、实事求是、严肃认真、言传身教、一丝不苟的优秀品质，永远是我们学习的榜样。
1978年邓小平同志接见出席全国科学规划会议的全体代表时，要求大规模集成电路尽快赶上世界先进水平。此后在中国科学院半导体研究所掀起了攻克“4k位mos动态随机存储器”难关的高潮。我有幸能在王守武先生的直接领导下参与这项光荣任务，聆听他的教诲。从他的言行所学到的东西使我受益终生。作为项目负责人，他从一开始就提出了“不仅要研制成功样品，还要有一定的成品率”。当时我国lsi的成品率处于1-3%的低水平局面，他要求一定要打破这个僵局。他分析了成品率低下的种种原因，以严谨的科学作风解决了一个个影响成品率的问题。近百道工艺要稳定，工艺设备、材料、试剂、气体、净化环境等条件必须稳定。为此他亲自指导对化学试剂进行提纯，将扩散炉安装成双重保险，并24小时运行，以保证炉子的稳定和清洁。为了克服继电器由于打火、簧片氧化造成接触不良等问题，他亲自在簧片上涂焊上白金，使之长期稳定工作.这样的例子不胜枚举。就这样，尽管当时用的全部是国产设备、材料、试剂，自主研究开发的电路设计和工艺技术，连续十批投片达到了平均28%的好成绩，并将该成果转移到上海元件五厂。随后用一年的时间又研究成功16k位dram,并继续将该成果转移到上海元件五厂。在这一年多的时间里，在他的带领下不但超额完成了任务而且培养了一支作风严谨，训练有素，能够攻坚的科技队伍。由此他获得了全国劳动模范的光荣称号。
王守武先生自从中国科学院微电子中心成立以来，一直担任微电子中心名誉主任，从中心的大政方针、课题的研究方案，技术路线到设备调试，他都提出独到的见解，他以对微电子中心高度的责任感和无限的深情关怀着中心的一草一木。
王先生实事求是、严谨的科学态度和对微电子事业高度的责任感贯穿在他的一言一行中。例如，为了中心超净厂房的恒温恒湿条件，保证大规模集成电路的成品率，他坚持要将送入超净室的空气先冷凝到5℃去湿，然后再加热至22℃送入室内。因此先要致冷后再烧锅炉加热，微电子中心当时的一些领导人认为浪费能源，但是王先生要求我坚决按科学规律办事。因此自1988年开始微电子中心净化厂房一直保持了恒温恒湿的优良生产条件，使开发线不断有新产品出现，成品率逐年增高、效益也与日俱增。
王先生主张对每一台旧设备都要挖掘潜力发挥其最大的效能.中心有一台陈旧的硅片减薄机，因加工方式落后经常碎片,王先生知道后到车间亲自操作，找出了碎片的原因并提出了凯发k8旗舰厅注册登录的解决方案，使这台旧机器至今仍处于良好的工作状态。
王先生虽已年近花甲，但思想仍十分先进，从不保守。早在1978年半导体所的超净线领导机构重新改组，由王先生挂帅，尽管当时尚没有改革的大环境，但他克服了重重阻力，实施“层层点将，优化上岗，富余人员下岗”等改革措施，取得了良好的效果。他十分重视培养年轻科技骨干队伍，要求给青年人以展示才能的舞台，为此他多次找朱亚江同志谈话作思想工作，动员他承担设计室主任的重担，并在各种场合支持青年人的创新思想和改革行动。总之，在我担任微电子中心领导职务期间，王先生的言传身教给了我极大的支持和鼓励。我的各种思想活动也只有向王先生倾诉，他对我的每一次谆谆教导就像一股股暖流，使我有了必胜的信心，在最困难的时候感觉有了依靠。他在出国探亲期间仍来函对工作提出中恳的意见。王先生以他强烈的爱国热忱、渊博的知识、求实的学风、坦荡的胸怀和对我国微电子事业的无限深情，成为我们中、青年知识分子的楷模，永远是我们学习的榜样。
王守武先生现在仍孜孜不倦地学习新的科技知识，他亲自改装和修理计算机、摄像机和直流电源等，他亲自编写计算机源程序，他对计算机的熟悉程度受到大家的赞赏，中年知识分子纷纷向他求教。他拥护党中央的改革开放主张，并身体力行，贯彻到中国科学院微电子中心的各项日常工作中去。他时常被邀请向青年们作报告，每一个报告都是一次生动的爱国主义教育, 他用自己的亲身经历和感受鼓励中青科技人员投身到我国微电子事业中。在他的教诲下一批批中青年技术和管理骨干成长起来。中国科学院微电子中心多年来所获得的各项成绩，都凝聚着王守武先生的心血。他对我国微电子事业所做出的丰功伟绩像他设计的微电子中心大楼一样永远屹立在人们心中。
诵读人：微电子所 感知中心党支部书记、副主任 王晓琴
